洁净室工程行业企业,从客户需求动身,从设计理念、建造施工、设备配备及运转等各个方面中止节能设计,只需采取全方位的节能技术,整个洁净室行业才干持续、良性展开。空气分子污染AMC作为C工厂关心的问题于20年前由日本人提出,近年来,世界Ic卡技术展开疾速,IC芯片日益微型化,目前曾经有嬴径为04in的世界较小的非接触型无线射频识别芯片。

洁净室工程是我国的耗能大户之。据不完好统计,洁净室的能耗是普通写字楼的10~30倍。我国的8英寸芯片厂,洁净室单位面积能耗比美国同类型工「高15%(美国耗能1.28kw/m2~2.63kW/m2而中国耗能148Wm2-193/m2).以上海某知名芯片厂为例,其全年耗电量的51%是用于洁净室运转及相关的维护,假设将这51%的能耗合理降低,对企业来说就意味着利润的增长,因此,洁净室下游相关行业企业越来越注重洁净室的节能问题。

AMC对当前的消费其潜在的污染」比粒子污染要普遍多,粒子污染控制只需求肯定粒径及个数,但对AMC控制而言,除了受芯片线宽的减少而变化外并受工艺、工艺设备、工艺材料及传送系統等的影响更有甚者用于某一工序的各种工艺材料(化学品、符种气体等)在很多情况下，量的分子剩余对下一工序常常可能就是污染物。因此,IC消费过程中的某些加工工序及工序问的材料传送和存放环境中,AMC已成为严重影响废品率的重要问题,AMC分子控制技术成为洁净室设计与施工树立的主流趋向。目前,国内的洁净室工程行业企业中曾经开端从事此方向的研讨。