“据不完全统计，洁净室工程的能耗是一般写字楼的10倍-30倍。我国的8英寸集成电路芯片制造厂，其洁净室单位面积能耗达到1.48千瓦/平方米～1.93千瓦/平方米，比美国同类型工厂高15%。”上海市室内环境净化协会秘书长王芳告诉《中国电子报》记者，“以上海某知名芯片厂为例，其全年耗电量的51%用于洁净室运行维护。如果能将这51%的能耗合理降低，对企业来说就意味着利润的增长。”

在我国，洁净厂房的能源消耗是相当大的。能源消耗主要用于生产设备用电和用热、净化空调系统的耗电/耗热和冷负荷、冷冻机组的耗电、排气装置的耗电和耗热、超纯水和气体的制取和输送以及公用设施和照明的用电等。为达到洁净室要求的空气洁净度等级，洁净室的循环风量很大。一般空调房间的每小时换气次数只需要几次，而洁净室每小时换气次数达到10次～600次。由于技术的原因，我国的洁净室在能耗方面又高于欧美发达国家。

洁净室的建造费用也十分惊人。《电子工业洁净厂房设计规范》主要起草人之一秦学礼在接受《中国电子报》记者采访时表示，ISO6级(相当于美国标准FS2091000级)洁净室单位面积建造成本约为3000元/平方米～4000元/平方米，而ISO4级(相当于美国标准FS20910级)洁净室单位面积建造成本则高达1万元/平方米。