洁净室工程的气流组织与一般空调房间有所不同，它要求将干净的空气首先送到操作部位，它的作用在于限制和减少对加工物的污染。尽量减少涡流，避免将工作区以外的污染带入工作区。工作区的气流要尽量均匀，且其风速要满足工艺和卫生要求，当气流向回风口流动时要使空气中的灰尘能有效的带走；根据不同的洁净度要求，选择不同的送、回风方式。尽量防止灰尘的二次飞扬以减少灰尘对工件的污染机会。

洁净室工程四种送风方式还有其各自优缺点：满布高效过滤器具有阻力低、更换过滤器周期长等优点，但顶棚结构复杂，造价高；侧布高效过滤器顶送、全孔板顶送与满布高效过滤器顶送的优缺点相反，其中全孔板顶送在系统非连续运行时，孔板内表面易积尘，维护不好，对洁净度有些影响；密集散流器顶送，因需要一段混和层，所以只适用于4m以上高大洁净室，其特点与全孔板顶送相仿；对于相对两侧格栅的板和相对两侧墙下部均匀布置回风口的回风方式仅适用两侧净间距小于6m的洁净室；单侧墙下部布回风口仅适用对墙间距较小(如≤<2~3m)的洁净室。