洁净室工程按工艺特点、空气洁净度等级和布置要求分为隧道式、开放式和微环境等。电子工业洁净厂房宜采用混合流洁净室。对空气洁净度要求严格时，宜采用微环境型式。洁净室按气流流型分为单向流洁净室、非单向流洁净室和混合流洁净室。

电子洁净厂房洁净区各层专用消防口的设计，应符合现行国家标准洁净厂房设计规范的有关规定。电子洁净厂房的耐火等级不应低于二级。微粒、对产品质量有害的杂质、温度、湿度、压差、噪声、振动、静电防护、照度等。

在洁净室的入口处宜设空气吹淋室，当不设空气吹淋室时，应设气闸室。单人空气吹淋室，应按人数设台数。洁净室工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设单向旁通门。空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室宜设气闸室。吹淋室风淋室应设在更换洁净工作服后的相邻部位。空气吹淋室的进、出门不得同时开启，要采取连锁控制措施。洁净工作服更衣室的空气洁净度等级宜低于相邻洁净室的空气洁净度等级。

不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于 5Pa。洁净室与室外的静压差应大于 10Pa。洁净室与非洁净室之间的静压差应大于 5Pa。